CVDとはChemical Vapor Depositionを省略した言葉で、日本語で化学気相成長と言います。 (chemical:化学的な vapor:蒸気・気化物質 deposition:堆積・沈殿)
化学反応により、複雑な表面形状でも均等にコーティング
化学反応処理により、複雑な表面形状でも均等にコーティング膜を形成します。また、高温下でコーティングすることで、セラミックスと処理物表面との間で原子拡散(浸透)が活発に行われ、高い密着性を実現しました。
ビッカース硬さ3,200kg/m㎡で高硬度、高耐摩耗性、摩擦係数が小さく滑りが良好で焼付きが起こりにくく、金型・耐摩耗部品用など広範な応用があります。
積層化によって、複合特性が得られます。1層~3層までの厚さを変えて組合わせることによって、各々両層の複合的利点が得られます。特に実用上、なじみ特性に優 れています。
硬さ2,000kg/㎟、黄金色で耐蝕性に優れており、コーティング温度を800℃まで低くできます。耐蝕部品、装飾用として優れています。
セラミックス種類 | 色 | Hv硬さ | ー | 特 性 |
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TIC炭化物薄膜 | 明灰色 | 3,200 | 1層 | 耐摩耗性・耐焼付・耐かじり性 |
TIN窒化物薄膜 | 金色 | 2,000 | 1層 | 耐摩耗性・耐食性・耐焼付・耐かじり性 |
TIC + TIN | 金色 | 2,200 | 2層 | ー |
TICN炭窒化物薄膜 | 暗赤色 | 2,800 | 3層 | 耐摩耗性・耐焼付・耐かじり性 |