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CVD装置

CVDとはChemical Vapor Depositionを省略した言葉で、日本語で化学気相成長と言います。 (chemical:化学的な vapor:蒸気・気化物質 deposition:堆積・沈殿)

  • (Ti)CNO-5 [MCVD]
  • CVD

CVD

化学反応により、複雑な表面形状でも均等にコーティング

化学反応処理により、複雑な表面形状でも均等にコーティング膜を形成します。また、高温下でコーティングすることで、セラミックスと処理物表面との間で原子拡散(浸透)が活発に行われ、高い密着性を実現しました。

コーティング膜の性状
TiC

ビッカース硬さ3,200kg/m㎡で高硬度、高耐摩耗性、摩擦係数が小さく滑りが良好で焼付きが起こりにくく、金型・耐摩耗部品用など広範な応用があります。

TiC+TiN

積層化によって、複合特性が得られます。1層~3層までの厚さを変えて組合わせることによって、各々両層の複合的利点が得られます。特に実用上、なじみ特性に優 れています。

TiN

硬さ2,000kg/㎟、黄金色で耐蝕性に優れており、コーティング温度を800℃まで低くできます。耐蝕部品、装飾用として優れています。

2層・3層処理
セラミックス種類 Hv硬さ 特 性
TIC炭化物薄膜 明灰色 3,200 1層 耐摩耗性・耐焼付・耐かじり性
TIN窒化物薄膜 金色 2,000 1層 耐摩耗性・耐食性・耐焼付・耐かじり性
TIC + TIN 金色 2,200 2層
TICN炭窒化物薄膜 暗赤色 2,800 3層 耐摩耗性・耐焼付・耐かじり性
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摩耗比較データ
ピアスパンチ
ヘッダープラスパンチ
深絞りダイ
切削工具
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(Ti)CNO-5 [MCVD]
清水鋼熱株式会社 本社 ソルト工場 ・ コーティング工場

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